一、三坐標測量機的產生

      三坐標測量機（Coordinate Measuring Machining，簡稱CMM）是20世紀60年代發(fā)展起來的一種新型高效的精密測量儀器。它的出現，一方面是由于自動機床、數控機床高效率加工以及越來越多復雜形狀零件加工需要有快速可靠的測量設備與之配套；另一方面是由于電子技術、計算機技術、數字控制技術以及精密加工技術的發(fā)展為三坐標測量機的產生提供了技術基礎。1960年，英國FERRANTI公司研制成功世界上第一臺三坐標測量機，到20世紀60年代末，已有近十個國家的三十多家公司在生產CMM，不過這一時期的CMM尚處于初級階段。進入20世紀80年代后，以ZEISS、LEITZ、DEA、LK、三豐、SIP、FERRANTI、MOORE等為代表的眾多公司不斷推出新產品，使得CMM的發(fā)展速度加快。現代CMM不僅能在計算機控制下完成各種復雜測量，而且可以通過與數控機床交換信息，實現對加工的控制，并且還可以根據測量數據，實現反求工程。目前，CMM已廣泛用于機械制造業(yè)、汽車工業(yè)、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)和國防工業(yè)等各部門，成為現代工業(yè)檢測和質量控制不可缺少的萬能測量設備。

二、三坐標測量機的組成及工作原理

（一）CMM的組成

三坐標測量機是典型的機電一體化設備，它由機械系統(tǒng)和電子系統(tǒng)兩大部分組成。

（1）機械系統(tǒng)：一般由三個正交的直線運動軸構成。如圖9-1所示結構中，X向導軌系統(tǒng)裝在工作臺上，移動橋架橫梁是Y向導軌系統(tǒng)，Z向導軌系統(tǒng)裝在中央滑架內。三個方向軸上均裝有光柵尺用以度量各軸位移值。人工驅動的手輪及機動、數控驅動的電機一般都在各軸附近。用來觸測被檢測零件表面的測頭裝在Z軸端部。

（2）電子系統(tǒng)：一般由光柵計數系統(tǒng)、測頭信號接口和計算機等組成，用于獲得被測坐標點數據，并對數據進行處理。