除三坐標(biāo)檢測(cè)機(jī)本身因故障造成測(cè)量精度誤差以外，還有很多可能影響測(cè)量機(jī)精度的因素，造成測(cè)量誤差。操作人員要了解這些因素，避免影響零件測(cè)量的準(zhǔn)確。

1. 機(jī)房溫度的穩(wěn)定

正如前所述，溫度是影響三坐標(biāo)檢測(cè)機(jī)精度的最大因素。每年進(jìn)行一次的精度校正，并不能保證在溫度變化的情況下測(cè)量機(jī)都能測(cè)量準(zhǔn)確。尤其是當(dāng)季節(jié)變化時(shí)，機(jī)房的溫度已與校驗(yàn)時(shí)不同。有必要在機(jī)房溫度穩(wěn)定的情況下，對(duì)因光柵溫度和量塊溫度不同而造成的誤差用溫度修正系數(shù)來(lái)進(jìn)行修正。這種修正可以根據(jù)季節(jié)或環(huán)境溫度情況來(lái)進(jìn)行。

2. 補(bǔ)償文件的正確

補(bǔ)償文件是使用雙頻激光干涉儀檢測(cè)測(cè)量機(jī)位置度、直線度和角度誤差后生成的補(bǔ)償文件。測(cè)量軟件是根據(jù)它來(lái)進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)摹Ｍ行┎僮鲉T在安裝測(cè)量機(jī)軟件時(shí)忘記安裝補(bǔ)償文件或?qū)浞菸募G失而造成測(cè)量機(jī)精度差和重新校驗(yàn)機(jī)器精度。所以操作員要保管好備份文件并且知道如何安裝補(bǔ)償文件。

3. 測(cè)頭校正的正確  ,準(zhǔn)確性測(cè)頭校正的目的是要校正出測(cè)桿（測(cè)尖）的紅寶石球的直徑，進(jìn)行測(cè)量點(diǎn)測(cè)頭修正，并得出不同測(cè)頭位置的位置關(guān)系。在測(cè)頭校正時(shí)產(chǎn)生的誤差將全部加入到測(cè)量中去。所以在這個(gè)環(huán)節(jié)中要保證正確和準(zhǔn)確。

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